美国限制向中国供应DUV设备 三星海力士慌得一批
韩国脉冲公司称，美国的新制裁措施禁止向中国供应深紫外线芯片设备，韩国的三星和SK海力士公司担心自身受到牵连。
3月初，美国国家安全委员会（NSC）称，应限制向中国出售DUV设备。限制中特别提到了与氟化氩（ArF）有关的技术，氩氟浸没式光刻技术对于16纳米或更小尺寸的双极型生产至关重要。
消息称，三星和SK海力士在中国的工厂分别将这些技术用于NAND内存和DRAM，据悉，韩国半导体工业协会（KSIA）已经向美国政府提出，要对这两家制造商做出例外规定，因为它们对韩国经济至关重要。KSIA担心美国对许多中国芯片制造商的制裁将扩大到所有在中国设有生产基地的制造商。
极紫外线光刻机（EUV）的销售已被禁止，目前来说，ASML仍被允许向中国中芯国际提供DUV设备。
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