深圳企业造出可测1纳米的工业尺子:能直接测量芯片

据央视财经日前报道,其“专精特新 制造强国”系列节目报道了深圳市中图仪器股份有限公司。

该公司历经18年用心打磨15把硬核科技“尺”,从纳米到百米,从接触式到非接触式,不断拓展工业测量领域全尺寸链条。

据公司董事长马俊杰介绍,其公司制造的显微测量仪,分辨率已达到了0.1纳米,在半导体领域已经大量使用,能够直接测量芯片。

例如,一枚看似光滑的晶圆,在显微测量仪下,表面看上去依然是错落有致,经过测量,高度差仅有6.1纳米,但还是需将它切割成更小的方块,才能使用。

此外,他们公司生产的闪测仪,测量速度非常快,他手机上的一块精密结构件,只需要几秒钟,几百个尺寸直接显示出来,而且达到了微米级的精度。

除了微小结构件外,他们团队也能测量巨型工业工件,研发的激光跟踪仪能够测量百米尺寸,是唯一同时具有微米级别测量精度,和百米工作空间的高性能光电仪器。

据悉,马俊杰毕业于清华大学精密仪器专业,后在研究所工作期间,他发现实验室里的精密仪器全都来自国外,这让他产生了创业做国产几何测量仪的想法。

虽然他们公司18年来只做了15台测量仪,但是每一台都极具特色,均能解决工业生产中的测量痛点问题。



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